背景介绍backgroundintrodution
qfr系列气浮旋转台在极低的外形封装中提供高定位精度、高速度稳定性和纳米级跳动。qfr的设计满足生物检测、晶圆检测、高精度计量、x射线衍射系统、光学检测和制造以及mems/纳米技术设备制造等高端行业。
密封式设计sealeddesigning
对qfr直驱旋转台进行了优化设计，使工作台面降到，这种设计结构有效的降低了工作点的高度，减少因与其他轴叠层引起的阿贝误差。密封式结构具有高刚度和大负载承重，不仅有较低的轴向和径向端跳误差，而且倾角误差比较小，由此产生的面误差明显优于其它气浮转台或气浮主轴，有利于各种应用。
非接触式结构non-contactstruture
qfr采用无齿槽无电机和气浮轴承，限度的提高了定位性能。电机采用先进的磁路设计，以最小的热量产生高扭矩输出，无齿槽设计固有的零齿槽效应和扭矩波纹折射，这使得qfr非常适合在低速或高速下平滑旋转等应用。
高精度性能highprecisionperformance
气浮转台采用精密圆光栅反馈，先进的驱动控制对光栅信号细分，分辨率达0.01角秒，轴向跳动误差
＜80nm。
定制化设计customdesign
气浮转台可安装滑环，用于空间模拟装置，mems和惯性导航等应用。
注：1.空气供应需清洁，干燥至0°f露点，灰尘颗粒过滤≤0.25um或纯度99.99%氮气。
2.以上精度测量的测试位置在工作台面中心以上25mm处，测试环境温度20±1℃，湿度40%-60%rh.